光刻机为什么不能用X射线作为光源?

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光刻机为什么不能用X射线作为光源?

有那个波段吸收的光刻胶吗,有能磨千分之二面型精度的机器吗,镀膜精度有能达到波长的四分之一吗,装调精度也不可能保证,也许几十年之后的6.9nm软x射线可能是光刻机的极限了。。。

当然可以用,而且最好用这个,为啥不用

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会这个激光的在中国

会做光刻机的不在中国

中国不想吧kbbf晶体给外面人,他们只能用气体激光来,能量还没到那么高,或者到了这么高不适合做光刻机了,太庞大。

外面人不想把光刻机制造技术给中国,中国在精密加工领域是全方位落后,还要积累很多年。

所以就这样了。。。

这是一个非常难解的困局。肚子疼,泻药